廠家詳解干式無油真空泵的原理與類別
在工業(yè)制造信息化、自動化、智能化的升級浪潮中，作為“工業(yè)心臟”的泵業(yè)與發(fā)展環(huán)保節(jié)能，提升制造產業(yè)更加緊密相聯(lián)，無油干式機械真空泵（又簡稱干式機械真空泵）特點是對被抽空間沒有油蒸汽污染，不噴油，沒有油蒸汽從泵口排出，屬于環(huán)保類產品，被稱為二十一世紀“綠色真空泵”。干式無油真空泵是指泵能從大氣壓力下開始抽氣，又能將被抽氣體直接排到大氣中去，泵腔內無油或其他工作介質，而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級或者接近的機械真空泵。下面臺冠真空泵技術團隊工程師們，給大家分享廠家詳解干式無油真空泵的原理與類別.希望能夠給大家?guī)韼椭?
干式無油真空泵還有一個明顯的能力就是不用水來做介質，與傳統(tǒng)的真空設備相比，它可以有效的節(jié)約水資源，減少企業(yè)的能源消耗，真正使企業(yè)的生產更加的環(huán)保，并且可以提升企業(yè)生產發(fā)展的能力。
無油干式真空泵使工作容積中無油，減少因油而花費的成本。增強了泵的可靠性。干式泵不受到水蒸氣或者塵粒的影響，因此它們更耐用，維護工作更少。
干式無油真空泵工作原理
干式無油真空泵它的工作原理和一般容積泵相同，由定子、轉子、旋片、缸體、電機等主要零件組成。帶有旋片的轉子，偏心地安裝在定缸內，當轉子高速旋轉時，轉子槽內四個徑向滑動旋片將泵腔分隔成四個工作室，由于離心力作用，旋片緊貼在缸壁，把定子進排出口分離開來，周而復始運轉，進行變容，將吸入氣體，從排氣口排出，從而達到抽氣目的。
1） 無油往復真空泵工作原理
靠活塞往復運動使泵腔（氣缸）的工作容積周期性地變化來抽氣的真空泵，又稱活塞真空泵。往復真空泵的結構與往復活塞壓縮機相似。工作時，吸氣管接被抽真空容器，排氣管直通大氣。往復真空泵可用于真空蒸餾、真空濃縮、真空結晶、真空過濾、真空干燥和混凝土真空作業(yè)等。
2）無油渦旋真空泵工作原理
渦旋無油真空泵的渦旋盤就是一個一端與一個平面相接的一個或幾個漸開線螺旋形成一個渦旋型盤狀結構。一個靜渦旋盤與一個動渦旋盤組成的一對渦旋盤付構成了渦旋無油真空的基本抽氣機構。例如在雙級渦旋無油真空泵中，有兩個方向對應的固定渦旋盤，一個位于兩個渦旋盤之間的轉動渦旋盤。動、靜渦旋盤相對運動形成容積不斷變化的新月形真空腔使氣從抽氣口吸入、排氣口排出、完成排氣循環(huán)。
3） 爪式無油真空泵工作原理
爪式真空泵由多級轉子構成，其中每級都有2個轉子構成，兩個轉子反方向旋轉，吸氣口與泵腔接通，泵腔容積變大而吸氣，當轉子關閉吸氣口時吸氣結束，以后泵腔變小而壓縮氣體，當排氣口打開后泵腔排氣，排氣口關閉時則排氣完畢，如此循環(huán)工作。
4） 干式無油螺桿真空泵工作原理
干式無油螺桿真空泵，是利用一對螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉而產生的吸氣和排氣作用的抽氣設備，兩螺桿經精細動平衡校正，由軸承支撐，安裝在泵殼中，螺桿與螺桿之間都有一定的間隙，因此泵工作時，相互之間無磨擦，運轉平穩(wěn)，噪音低，工作腔無需潤滑油，因此，干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合，極限真空更高，消耗功率更低，具有節(jié)能，免維修等優(yōu)點。它是油封式/水環(huán)式/噴射式真空泵的更新?lián)Q代產品。
干式無油真空泵分為下列幾種類型：
1）外部壓縮型螺桿式
在外部壓縮型螺桿式設計中，使用一對等距螺桿。這使得內部壓縮減到最小，同時使得氣體通路最短也最簡單。這樣，氣體在泵體內停留的時間也最短。雖然這種設計由于減少了內部的壓縮比而使得其耗電量相對較高，但在很多復雜的半導體工藝中表現(xiàn)出極高的穩(wěn)定性。這種單級設計使得其對氮氣用量的要求也非常小而且簡單，這樣就使得其在不同工藝中有很好的互換性。在很多清潔的工藝中甚至可以不用氮氣。
2）內部壓縮型螺桿式
除了使用一對非等距螺桿以外，內部壓縮型螺桿式設計和外部壓縮型螺桿式設計的基本原理非常相似。螺桿間容積的不斷減小使得其內部產生壓縮。這種設計由于產生內部壓縮而使得其耗電量降低到同多級泵相當?shù)乃?。但在很多工藝中，這種內部壓縮同多級泵一樣，極易造成氣體在泵體內的物理化學變化而產生固化或液化。
3）組合式(羅茨+爪)
組合式(羅茨+爪)設計用羅茨來提高在較低壓力下的抽氣效率，用爪來提高在較高壓力下的抽氣效率。它的基本原理和氣體通路同前面介紹的圓裂片式設計完全相同。也有些廠家將其最后一級改為星型設計，這樣可以在旋轉一圈中將氣體分為五份，就像三圓裂片式設計可以將其分為三份。同樣，在很多工藝中，組合式設計的每一級都需要較大流量的氮氣來起到稀釋和隔離作用。
4）雙圓裂片式
雙圓裂片式多級設計使得氣體通路相當復雜，并且每一級都需要較大流量的氮氣起到稀釋和隔離作用。同時，為了達到好的真空度，對各級的間隙有非常嚴格的要求。當然，這種設計由于增加了內部的壓縮比而使得其耗電量相對較低。
5）三葉圓裂片式
三葉圓裂片式設計和雙圓裂片式設計的原理完全相同，只是在旋轉一圈中將氣體分為三份而不是像雙圓裂片式分為兩份。這兩種設計有著相同的優(yōu)點和缺點。為了進一步降低耗電量，在傳動部分有的廠家選用兩個直流馬達，但這也會導致扭矩減小，重新啟動的能力—下降。同雙圓裂片式設計一樣，三葉圓裂片式設計的每一級都需要較大流量的氮氣來起到稀釋和隔離作用。
以上就是為您提供廠家詳解干式無油真空泵的原理與類別，馬力機電有限公司是一家具有真空壓縮泵行業(yè)十五年研發(fā)，生產和銷售廠家.如您想了解更多關各類真空泵的詳細信息,歡迎來電咨詢，我們將熱忱為您提供量身訂制?真空技術方案，直至解決您所有問題解決為止，24小時服務熱線:13926800619或訪問公司官方網站picktubanda.com.技術支持欄目查閱相關真空知識。
干式無油真空泵還有一個明顯的能力就是不用水來做介質，與傳統(tǒng)的真空設備相比，它可以有效的節(jié)約水資源，減少企業(yè)的能源消耗，真正使企業(yè)的生產更加的環(huán)保，并且可以提升企業(yè)生產發(fā)展的能力。
無油干式真空泵使工作容積中無油，減少因油而花費的成本。增強了泵的可靠性。干式泵不受到水蒸氣或者塵粒的影響，因此它們更耐用，維護工作更少。
干式無油真空泵工作原理
干式無油真空泵它的工作原理和一般容積泵相同，由定子、轉子、旋片、缸體、電機等主要零件組成。帶有旋片的轉子，偏心地安裝在定缸內，當轉子高速旋轉時，轉子槽內四個徑向滑動旋片將泵腔分隔成四個工作室，由于離心力作用，旋片緊貼在缸壁，把定子進排出口分離開來，周而復始運轉，進行變容，將吸入氣體，從排氣口排出，從而達到抽氣目的。
1） 無油往復真空泵工作原理
靠活塞往復運動使泵腔（氣缸）的工作容積周期性地變化來抽氣的真空泵，又稱活塞真空泵。往復真空泵的結構與往復活塞壓縮機相似。工作時，吸氣管接被抽真空容器，排氣管直通大氣。往復真空泵可用于真空蒸餾、真空濃縮、真空結晶、真空過濾、真空干燥和混凝土真空作業(yè)等。
2）無油渦旋真空泵工作原理
渦旋無油真空泵的渦旋盤就是一個一端與一個平面相接的一個或幾個漸開線螺旋形成一個渦旋型盤狀結構。一個靜渦旋盤與一個動渦旋盤組成的一對渦旋盤付構成了渦旋無油真空的基本抽氣機構。例如在雙級渦旋無油真空泵中，有兩個方向對應的固定渦旋盤，一個位于兩個渦旋盤之間的轉動渦旋盤。動、靜渦旋盤相對運動形成容積不斷變化的新月形真空腔使氣從抽氣口吸入、排氣口排出、完成排氣循環(huán)。
3） 爪式無油真空泵工作原理
爪式真空泵由多級轉子構成，其中每級都有2個轉子構成，兩個轉子反方向旋轉，吸氣口與泵腔接通，泵腔容積變大而吸氣，當轉子關閉吸氣口時吸氣結束，以后泵腔變小而壓縮氣體，當排氣口打開后泵腔排氣，排氣口關閉時則排氣完畢，如此循環(huán)工作。
4） 干式無油螺桿真空泵工作原理
干式無油螺桿真空泵，是利用一對螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉而產生的吸氣和排氣作用的抽氣設備，兩螺桿經精細動平衡校正，由軸承支撐，安裝在泵殼中，螺桿與螺桿之間都有一定的間隙，因此泵工作時，相互之間無磨擦，運轉平穩(wěn)，噪音低，工作腔無需潤滑油，因此，干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合，極限真空更高，消耗功率更低，具有節(jié)能，免維修等優(yōu)點。它是油封式/水環(huán)式/噴射式真空泵的更新?lián)Q代產品。
干式無油真空泵分為下列幾種類型：
1）外部壓縮型螺桿式
在外部壓縮型螺桿式設計中，使用一對等距螺桿。這使得內部壓縮減到最小，同時使得氣體通路最短也最簡單。這樣，氣體在泵體內停留的時間也最短。雖然這種設計由于減少了內部的壓縮比而使得其耗電量相對較高，但在很多復雜的半導體工藝中表現(xiàn)出極高的穩(wěn)定性。這種單級設計使得其對氮氣用量的要求也非常小而且簡單，這樣就使得其在不同工藝中有很好的互換性。在很多清潔的工藝中甚至可以不用氮氣。
2）內部壓縮型螺桿式
除了使用一對非等距螺桿以外，內部壓縮型螺桿式設計和外部壓縮型螺桿式設計的基本原理非常相似。螺桿間容積的不斷減小使得其內部產生壓縮。這種設計由于產生內部壓縮而使得其耗電量降低到同多級泵相當?shù)乃?。但在很多工藝中，這種內部壓縮同多級泵一樣，極易造成氣體在泵體內的物理化學變化而產生固化或液化。
3）組合式(羅茨+爪)
組合式(羅茨+爪)設計用羅茨來提高在較低壓力下的抽氣效率，用爪來提高在較高壓力下的抽氣效率。它的基本原理和氣體通路同前面介紹的圓裂片式設計完全相同。也有些廠家將其最后一級改為星型設計，這樣可以在旋轉一圈中將氣體分為五份，就像三圓裂片式設計可以將其分為三份。同樣，在很多工藝中，組合式設計的每一級都需要較大流量的氮氣來起到稀釋和隔離作用。
4）雙圓裂片式
雙圓裂片式多級設計使得氣體通路相當復雜，并且每一級都需要較大流量的氮氣起到稀釋和隔離作用。同時，為了達到好的真空度，對各級的間隙有非常嚴格的要求。當然，這種設計由于增加了內部的壓縮比而使得其耗電量相對較低。
5）三葉圓裂片式
三葉圓裂片式設計和雙圓裂片式設計的原理完全相同，只是在旋轉一圈中將氣體分為三份而不是像雙圓裂片式分為兩份。這兩種設計有著相同的優(yōu)點和缺點。為了進一步降低耗電量，在傳動部分有的廠家選用兩個直流馬達，但這也會導致扭矩減小，重新啟動的能力—下降。同雙圓裂片式設計一樣，三葉圓裂片式設計的每一級都需要較大流量的氮氣來起到稀釋和隔離作用。
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